真空淬火（回火、退火）就是通過把材料或零件在真空狀態下按工藝規程加熱、冷卻來達到預期性能的一種處理方法。

真空燒結爐在真空狀態下，把金屬粉末制品加熱，使相鄰金屬粉末晶粒通過粘著和擴散作用而燒結成零件的一種方法。

真空氣氛爐又名無氧退火爐，真空氣氛爐常用的有真空、氫、氧、氮和惰性氣體（如氬）等各種氣氛。不同的材料選擇適宜的氣氛燒結，有助于燒結過程，提高制品致密化程度、獲得良好的性能的制品。

真空釬焊爐在真空狀態下，把一組焊接件加熱到填充金屬熔點溫度以上，但低于基體金屬熔點溫度，借助于填充金屬對基體金屬的濕潤和流動形成焊縫的一種焊接工藝（釬焊溫度因材料不同而異）。